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此真空變送器提供四 (4) 位十進(jìn)制測量范圍，并基于薄膜與固定電極之間的電容進(jìn)行測量。不論處理氣體成分如何，其輸出均相同 – 無需氣體校正系數(shù)。
它的應(yīng)用非常廣泛，可用作獨(dú)立設(shè)備或與合適的控制設(shè)備配合使用。CTR 100 N 變送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模擬輸出信號(hào)。此輸出可連接至外部模擬設(shè)備，獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。此變送器還配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測量。有關(guān)此接口的詳情，請(qǐng)參閱 RS232 指導(dǎo)手冊(cè) 300544665。
傳感器技術(shù)
此變送器通過測量薄金屬膜與圖案化電極之間的電容進(jìn)行工作。當(dāng)處理壓力發(fā)生變化時(shí)，薄膜改變其相對(duì)于電極的位置，促使電容發(fā)生改變。電容的變化與壓力的變化成正比。由于薄膜位置與氣體類型無關(guān)，因此不論氣體成分如何，變送器都提供相同的輸出信號(hào)。薄膜和傳感器全部由鎳合金構(gòu)成，從而它能夠抵御腐蝕或氧化所造成的損害。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 一般真空壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 薄膜沉積處理，例如蒸發(fā)、濺射和化學(xué)氣相沉積 (CVD)。
? 高級(jí)材料處理，例如真空爐和陶瓷燒結(jié)。
? 溶液和油液的真空脫氣。
? 等離子和化學(xué)清洗。
? 分析儀器，例如電子顯微鏡、熱分析儀和質(zhì)譜儀。

技術(shù)數(shù)據(jù)
全量程測量范圍:
1000, 100, 20, 10, 1 和 0.1 托
精確度 (1)
范圍 ≥ 1 托: 讀數(shù)的 0.20%。
0.1 托范圍: 讀數(shù)的 0.50%
分辨率(2)
全量程的 0.003%
電源電壓:
+14 至 +30 伏直流；0.030 安時(shí)的額定電壓為 24 伏直流
功耗:
< 1 瓦
模擬輸出:
0 – 10.00 伏直流
響應(yīng)時(shí)間:
F.S 范圍 ≥ 1 托，從 F.S 的 0% 至 90%，響應(yīng)時(shí)間為 40 毫秒。對(duì)于 0.1 托，從 F.S 的 0% 至 90%，響應(yīng)時(shí)間為 80 毫秒。
采樣率:
對(duì)于范圍 > 1 托 (1.33 毫巴) 的變送器，模擬輸出信號(hào)大約每秒更新 1000 次對(duì)于范圍 ≤ 1 托 (1.33 毫巴) 的變送器，模擬輸出信號(hào)大約每秒更新 500 次
暴露在真空中的材料:
Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金。KF 和 CF 法蘭由 300 系列不銹鋼制成。

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